电子清理室净化工程运用走向成熟化_武汉得创净化设备有限公司

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电子产业，新奇快速生长发育的亚微米加工工艺对生产制造场地气体洁净度规定新奇高，在对洁净度的明确提出更高要

求层面，电子工业是推动前行驱动力。电子器件光刻工艺的外形尺寸是促进清理室规定向宿世长的决定要素，技

术越提升，规格就越小，若是落在电子器件上的颗粒超过最少规格的1%--2%,便会使电子器件变成废料，

金属粒子、正离子、病菌全是生产制造废料的罪魁祸首。气体洁净度的厉害立即危害电源电路生产制造的产品率。与此同时，对微

电子器件物质的作用规定越高，投资总额越来越大，就对品质水准的需求愈来愈严苛，电子工业变成天地上越

来越大的产业部门，预估再近年来，电子器件激光器最少的光刻技术规格可抵达0.5μm。微电路储存量可达64千兆网卡，

天地上中单位新建的洁净室都用以电子光学工业生产，每一年制做和应用费用可达万美元。

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电子清理室净化工程运用走向成熟化

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