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电子光学净化车间设计方案需注重事项?

发布时间:2022-05-15 10:01 人气: 来源:http://wccj.deiiang.com

得创净化公司

电子清理工业厂房工程项目其主要特点:1、车间总面积大;2、多元性;电子电子光学领域技艺更新快,生产工艺流程变化,车间平面图构造也随着变化,因而在设计方案净化处理车间时要重视平面图上不适合有牢固的摆脱,新奇是不大的摆脱。


电子电子光学净化处理车间设计方案需重视事宜


(1)平面图由加工工艺决定,电子净化处理车间的加工工艺构造应切合电子物质生长发育的单纯性,满足物质生产工艺流程更新和扩张生产制造的要求;

(2)主体工程宜接受大容量及大跨距柱距,不适合接受内外墙载重系统软件;

(3)大中型电子领域清理工业厂房常接受上技艺隔层、下技艺隔层这类“夹心巧克力”式双层机构;

(4)应考虑大中型生产工艺流程武器装备的安裝、检修规定,设定必须的运送安全通道和不危害绿色制造自然环境的安裝口或检测口;

(5)电子净化处理车间按二级防火等级设计方案;

(6)高纯气体的存放和分派间应该有防火隔断墙与清理室(区)摆脱,该墙耐火等级不低于1H。有害的硅烷或其参杂物氧气瓶存区最少三面是打开的,氧气瓶与周边建造物或护栏中间的间距应超过3M,储存库设定的雨蓬应不低于3.5M;

(7)电子净化处理车间的装饰设计材料不可接受释放出来对电子物质有影响化学物质的材料;

(8)电子电子光学清理室车间容许设气体吹淋室,这也是和一样平时微生物清理室差其他。吹淋室应与清理事儿服换衣室邻近。1人吹淋室按最买办总数为30人一间设计方案,当事儿员工超越5人时,应设歪道,当总数过多或为了更好地减少根据時间,也应设遂道式吹淋室;

(9)针对清理等级高的清理车间,为了更好地尽量不危害气旋的不可逆性、平行面性,照明设备接受净化处理泪滴形照明灯具;

(10)电子清理室车间常要凭据生产工艺流程规定设定抗静电自然环境,便于抑止静电感应的产生,将已发生的静电感应快速、安全的清理;

(11)电子清理室车间有对防微振的特别要求,在厂地自然环境应该绕开震动源;

(12)电子净化处理车间除有一样平时给水排水规定外,对超大型规格型号电子器件的自来水也是有限度;


电子电子光学清理车间的环境监控系统


参     数

数     值

说     明

横截面风力/(M/S)

0.3-0.5

0.2-0.4

清洁度1-3级(ISO)清理室

清洁度4-5级(ISO)清洁室

换气次数/(次/H)

50-60

15-25

10-15

清洁度6级(ISO)清理室

清洁度7级(ISO)清洁室

清洁度8-9级(ISO)清理室

静压差/PA

>5

>10

差别等级清理室中间及其清理室和非清理室

中间清理室与户外之羊

溫度/。C

18-22

16-20

按详尽建筑项目规定24-26

26-28

按详尽建筑项目规定

加工工艺无规定时的工作环境

员工净化处理及职业生涯用地

加工工艺有需要时的工作环境

加工工艺无规定时的工作环境

员工净化处理及职业生涯用地

加工工艺有需要时的工作环境

空气湿度/%

30-50

按详尽建筑项目规定

50-70

按详尽建筑项目规定

工艺无规定时的生产环境

工艺有需要时的生产环境

工艺无规定时的生产环境

工艺有需要时的生产环境

新风量/[M3/(人.H)

40


噪声/DB(A)

<65

单边流及单向流和非单边流共存的洁净室

光照强度/1X

300-500

200-300

非单边流清理室关键生产制造用地(有低光照强度规定的如光刻技术、显示器件等以外)

别的用地

光照强度均值度

0.7


静电感应外边电阻

1*105—1*1010

一级限度为1*105—1*107

静电感应体积电阻率

1*104-1*109


地面临地的漏泄电阻

*105-1*108


静电压

<50(45%空气湿度)

4级(ISO)以上清理室

震动速度

震动加快率

震幅

相对位移量


凭据加工工艺或周全武器装备、仪表设备特点明确或参考国家标准<减振设计标准>

电磁感应侵扰


4级(ISO)以上清理室,当清洁室挨近髙压输变电设备时尤其关键


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