二、空调净化系统

空调净化的制定是与加工工艺的构造、生产制造的步骤啪啪连接的。差异种类、差异主要用途的厂房空调净化系统都各有特色，下边来推荐光伏新能源硅晶片生产制造工艺流程的空调净化系统计划方案。

2.1 中央空调系统

1 切成片室、倒圆角室、碾磨片室仅有温控规定，设风冷热泵分体式柜式空调机（PAC）来确保屋子溫度规定，房间内机就近原则置放在生产车间内，接风洗尘管，接受两层百叶风口侧排风方法；空调外机置放在平屋面上。切成片室的排风量比较大，新面貌用立即挥发式热泵机组型房顶空调S1-1和S1-2来填补。生产车间有防污规定，风冷热泵分体式柜式空调机回风管道处设中效过滤器（空气尘记数高效率：≥60%，针对≥1μm 颗粒），一样房顶式空调应设二级过滤装置。

其电路原理图见图:

2 炉室、BSD室仅有温控规定

设风冷式电加热分体式柜式空调机（PAL）来确保屋子溫度规定，房间内机就近原则置放在生产车间内，接风洗尘管，接受方形散流器顶排风方法；空调外机置放在平屋面上。新风系统由邻近清理室正压力回来。生产车间有防污规定，风冷式电加热分体式柜式空调机回风管道处设中效过滤器（空气尘记数高效率：≥60%，针对≥1μm颗粒）。

3 磨光片诊断室有温度和温度操纵规定

设风冷式电加热分体式柜式空调机（PAL）来确保屋子溫度规定，房间内机就近原则置放在生产车间内，接风洗尘管，接受方形散流器顶排风方法；空调外机置放在平屋面上。新风系统经新风机组（MAU-1、2）处理后，引至排风管上送至房间内，空气湿度由新风机组来确保。新风机组是与净化处理系一共用的。生产车间有防污规定，风冷式电加热分体式柜式空调机回风管道处设中效过滤器（空气尘记数高效率：≥60%，针对≥1μm颗粒），新风机组含有粗、中效过滤器。

2.2 净化设备

光伏新能源净化工程系统软件用的新风系统制冷机组（MAU）和循环系统制冷机组（AHU）的氟利昂接受6-11℃的冷藏水，加温接受0.2MPa蒸气，增湿接受0.1MPa的清理蒸气增湿，清理蒸气由纯净水经清理燃气蒸汽锅炉产生。

1) CP室净化处理等级为7级，换风次数取名为30次/钟头，CP室加工工艺武器装备用酸量较多，接受全新风系统制冷机组（MAU-3） 高效送风口正压送风口（HEP-ABOX）的中央空调方法。其气旋步骤为：新风系统通道-初效过滤器-中效过滤器-预电加热器-翅片换热器-电加热器-清理蒸气增湿-通风机-排风管-高效送风口排风-清洁区。

2) ML室净化处理等级为7级，换风次数取名为30次/钟头，接受新风机组（MAU） 循环系统发电机组（AHU） 高效送风口正压送风口（HEP-ABOX）的中央空调方法。新风系统接自其他系一共用MAU-1、2新风系统组。

3) CP/CVD室、LP/CVD室、清理包裝间洁净等级为6 级，换风次数取名为50次/钟头，接受新风机组（MAU） 循环系统发电机组（AHU） 高效送风口正压送风口（HEP-ABOX）的中央空调方法。新风系统接自其他系一共用的MAU-1、2新风系统组。

4) 7级、6 级的洁净室接受的气体方式为顶端高效送风口正压送风口排风，屋子侧下百叶风口送风。其气旋步骤为：新送风参杂!中效过滤器-翅片换热器-通风机-排风管-高效送风口正压送风口-清洁区-屋子侧下百叶窗回风管道-回风道-新送风参杂。

5) 清洗室、质量诊断室净化处理等级为7 级，接受新风机组（MAU） 循环系统发电机组（AU） 离心风机过滤装置模块（FFU)）的中央空调方法。接受的气体方式为顶端FFU排风，屋子侧下百叶风口送风。FFU密布率是33%，清洗室、质量诊断室对NH4 、SQx浓度值有规定，需要在循环系统发电机组（AHU）内加设有机化学过滤装置。5级净化处理间的气旋步骤为：新送风参杂-有机化学过滤装置（NH4 ）-有机化学过滤装置（SQx）-中效过滤器-翅片换热器-通风机-排风管-送风静压箱-离心风机过滤装置模块（FFU）-清洁区-屋子侧下百叶窗回风管道-回风道-新送风参杂。新风系统接自其他系一共用的MAU-1、2新风系统组。

三、净化设备的中央空调自动控制系统

新风机组（MAU-1、2）接受变频式离心风机，由总排风管上的静压感应器来操纵变频调速器。在连接每一个排风量及正压操纵循环系统发电机组（AHU）的新风系统管上父设定电动调治阀，由各清理室的正压值来调治电动调治阀的开度，使清洁室的正压值不随生产制造武器装备的排风量的变化而转变，电动调治阀的开度变化造成总排风管上的静压变化，凭据其额定值调治AHU-1、2的离心风机頻率，以抵达操纵目地。

3.1 净化车间的温湿度记录操纵

净化车间的环境湿度是由新风机组MAU-1、2来确保，操纵新风机组排风情况点，凭据排风情况额定值来调治干蒸汽加湿器的电动执行器和翅片换热器及电加热器回水管上的电动二通阀的开度。含湿量DPT由查验室内湿度光敏电阻器HE持续整定值。

净化处理生产线的溫度是由循环系统发电机组AHU来保障的，凭据室温来调治翅片换热器回水管上的电动二通阀的开度。

3.2 制冷控制系统

冷藏水系统软件层面接受一级泵，用负载操纵的方法来明确制冷机组及回应离心水泵、闭式冷却塔的打开数量。凭据设置供、智能回水压力差来自动控制系统供、智能回水负责人中间压力差总流量进气阀。