集成电路无尘车间设计施工规定_武汉得创净化设备有限公司

集成电路无尘室车间是为了更好地满足半导体材料制造加工工艺要求的洁净室，该无尘室车间对自然环境清洁度、温湿度记录、震动、ESD、AMC操纵等均有一定的规定。相对性于别的工业生产清理室，集成电路制造无尘室车间有总面积大、清理等级高、温湿度记录线性度高特性。

凭据清理室车间气体循环系统特性可以将清理室分成三种种类：循环系统空调相互配合高效送风口系统软件、循环系统离心风机相互配合湿试密封性系統和FFU循环系统。

第一种方式在小规模纳税人低等级规定的洁净室车间设计方案中被广泛运用，针对大规模高等级的清理车间则存有运作成本费过高、占有的空间过大等瑕玷。

第二种方式的制定可以满足集成电路制造无尘室车间大规模高等级的规定，但运作费用较高，并且清理室风力、排风量调理难点，系统更新更新难点，因而实际操作纯真性很低。

第三种的FFU循环系统不但节省运作室内空间、清洁度安全高朝、运作低成本，并且实际操作纯真性很高，可以不在危害生产制造的情况下随时随地举办系统更新和调节，这种都能有效地满足半导体材料制造的要求，因而在半导体材料制造业FFU循环系统慢慢变成最首要的净化处理方案设计。

FFU循环系统的特性是：全部清理室由负压层、加工工艺层、工艺輔助层和送风安全通道构成，由FFU给予循环系统气体的驱动力，将新风系统、循环系统风参杂后根据超高效送风口送进加工工艺层和工艺輔助层，负压层相对性于加工工艺层为负压力。除此之外，另有生产制造輔助区为集成电路制造厂务武器装备地区，包含能源供应、汽体和化工品供货、超纯水系统供货等。

集成电路制造对无尘室车间自然环境的调节有比较严格的规定。差其他加工工艺制造对清洁度的需求也不尽相同，例如光刻技术规定在1级的微自然环境下，而有机化学机械设备碾磨则只规定1000级的自然环境就可以。

此外，集成电路制造清理工业厂房对噪音、微振、光照强度等均有相应的划分和规定，尤其是震动的操纵，在洁净室的建造产品结构设计上就需要有一定的规定。

好的清理车间设计方案不但能节约资源、减少运作成本费、减少人工资金投入，并且可以给生产制造给予安全靠谱的确保。在3种清理系统软件中，FFU循环系统运作费用最少，清洁度安全性最大，因而集成电路清理工业厂房多接受FFU循环系统。而清洁度规定越高，温湿度记录线性度越高而清理室项目投资和运作费用越高，因而在大环境清洁度或温湿度记录规定相比较低的情况下，将一些重要的加工工艺武器装备布署在较高清洁度或温湿度记录操纵地区内是集成电路制造清理工业厂房的设计方案发展趋势。

集成电路制造是高耗能的产业链，而清理空调机组的耗能则占在其中的30%以上，因而环保节能安全的洁净室设计方案和诸多热量接受设计方案将是将来的生长发育偏重。

伴随着集成电路制造技艺的不断更新，流行大型厂早已进入了纳米技术时期，集成电路制造清理工业厂房的制作和环保节能自主创新也必须不断提高，为优秀制造物质生产制造给予确保。

集成电路无尘车间设计施工规定

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