光学微电子洁净厂房_武汉得创净化设备有限公司

计划方案介绍：

电子光学微电子技术洁净工程亦名洁净室或清静室，现阶段已经是半导体材料、精密制造、lcd屏生产制造、电子光学生产制造、pcb线路板

生产制造和细胞生物学、药业、食品类生产制造等领域必不可少的关键设备。近年来，因为技术性之改革创新，针对产

品的高精度化、细微型化之要求更加急切，如特大型积体电路之科学研究生产制造，已变成世界各地在智能科技

上极其高度重视的新项目，可是我企业的设计构思及施工工艺在领域中则处在影响力。

电子光学微电子技术洁净工程之界定为将一定室内空间范畴内之空气中的浮尘颗粒、有危害气体、病菌等之污染物质排

除，并将房间内之温度湿度、洁净度等级、房间内工作压力、气旋速度气旋遍布、噪声振动及照明灯具、静电感应操纵在某一

要求范畴内，而所给于尤其设计方案之密闭空间。

净化车间/净化室的目地以下：

作用一：过虑循环系统气体提议洁净自然环境，

作用二：调整气体创建恒温恒湿设备自然环境。

作用三，创建正压力自然环境防止外气环境污染

电子光学微电子技术洁净工程一般包含：

1、洁净厂区

2、洁净輔助间（包含工作人员净化处理用地、原材料净化处理专室和一部分日常生活专室等）

3、工业园区（包含办公室、值勤、管理方法和歇息等）

4、机器设备区（包含空调净化系统应用、电气设备用地、工业纯水和高纯度气用地、热冷机器设备用地）

电子光学微电子技术洁净工程净化处理基本原理

气旋→初效净化处理→中央空调→中效过滤器净化处理→离心风机排风→管路→高效率净化处理出风口→吹进屋子→带去浮尘病菌等颗粒物

→ 送风百叶窗帘→初效净化处理反复之上全过程，就可以做到净化处理目地。

电子光学微电子技术洁净工程净化处理主要参数

换风：100000级≥15次；10000级≥20次；1000≥三十次。

压力差：主生产车间对邻近屋子≥5Pa

均值风力：10级、100级0.3－0.5m/s；溫度冬天＞16℃；夏天＜26℃；起伏±2℃。

溫度45－65％；GMP颗粒剂生产车间环境湿度在50％上下为宜；电子器件生产车间环境湿度略高以防造成静电感应。

噪音≤65dB（A）；

新风系统填补量是总送排风量的10％－30％；

光照强度300LX。

电子光学微电子技术洁净工程构造原材料

1. 净化车间墙、顶板才一般多选用50毫米厚的夹心彩钢板生产制造，其特性为美观大方、刚度强。弧形墙角、门、

窗子等一般选用专用型空气氧化铝合金型材生产制造。

2.路面可选用环氧树脂自流坪环氧地坪或高級耐磨损塑胶地板，有抗静电规定的，可采用抗静电型。

3.送回风口用热渡冷轧钢板做成，贴净化处理隔热保温效果非常的好的阻燃性型PF聚氨酯发泡塑料板材。

4.高效过滤器用不锈钢板架构，美观大方洁净，冲孔网板用喷漆铝合金板，不锈蚀不粘尘，宜洁净。

光学微电子洁净厂房

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