电子洁净室气压要求及控制篇_武汉得创净化设备有限公司

针对绝大多数电子产业洁净室内空间，为了更好地操纵一定的洁净度等级，必须避免外部环境污染入侵，因此要维持

內部的工作压力（负压）高过外界的工作压力（负压）。那样外部的环境污染就不容易入侵房间内。在其中压差的维

持一般应合乎下列标准：

洁净厂房

1 洁净室内空间的工作压力要高过非洁净室内空间的工作压力。

2.洁净度等级等级高的室内空间的工作压力要高过邻近的洁净度等级等级低的室内空间的工作压力。

压差的保持借助排风量，这一排风量要能赔偿在这里一压差下从间隙漏泄掉的排风量。因此压差的物理学

实际意义便是漏泄（或渗入）排风量根据净化室的各种各样间隙时的摩擦阻力。

净化室中的气旋速率要求：

这儿要探讨的气旋速率就是指洁净房间内的气旋速率，在别的洁净室内空间中的气旋速率在探讨实际机器设备时再聊

明。针对乱流净化室因为主关键靠气体的稀释液功效来缓解室内空气污染的水平，因此关键用换风这一概

念，而不直接用速率的定义，但是对对流传热速率也是有以下规定；

(1)正压送风口出入口气旋速率不适合很大，和单纯性中央空调屋子对比，规定速率衰减系数更快，蔓延视角更高。

(2)吹过平面的气旋速率（比如侧送时流回速率）不适合很大，以防吹动表层粒子重回气旋，而导致再污

染，这一速率一般不适合奋战0.两米/s。

针对平行面流净化室《习惯性上称层.流净化室），因为关键靠气旋的“活塞杆打挤压成型功效清除行染，因此横截面上的

速率便是十分关键的指标值。以往都参照英国40gB规范，选用0.45m/s．但大家也都掌握到那样大速率所需

要的自然通风量是巨大的，为了更好地环保节能，也都是在探索减少速一风力的可行性分析。

洁净室设计标准图

在中国，《空气洁净技术措施》和<净化车间设计标准））全是那样要求的

竖直平行面流（层.流）净化室≥0.25m/s

层流洁净室示意图

水准平行面流（层.流）净化室≥0.35 m/s

洁净室水平层流示意图

电子洁净室气压要求及控制篇

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